在硅中分別摻雜其他兩類微量雜質(zhì)可相應(yīng)形成P型和N型半導(dǎo)體。這樣可制出以空穴或電子為多數(shù)載流子導(dǎo)電的非本征半導(dǎo)體。硅本身具有鉆石結(jié)晶構(gòu)造,若在特定方向軸上施加機械力(壓力或拉力),晶體內(nèi)部會產(chǎn)生畸變。這一畸變又導(dǎo)致晶體內(nèi)部能級構(gòu)造的變化,并進一步導(dǎo)致載流子相對能量的變化,從而導(dǎo)致晶體固有電阻率的變化。這種半導(dǎo)體晶體承受機械力后其電阻值增加或減少的現(xiàn)象稱為壓阻效應(yīng)。 光電開關(guān)傳感器根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓組效應(yīng),在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴散電阻而制成。其基片可直接作為測量光電開關(guān)傳感器元件,擴散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。當基片受到威力作用而產(chǎn)生形變時,各電阻值將發(fā)生變化,使電橋產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。 用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片,硅片為敏感材料,制成的硅片壓阻光電開關(guān)傳感器受到人們的重視,尤其是以測壓力和速度的固態(tài)壓阻式光電開關(guān)傳感器應(yīng)用最為普遍。 1、光電開關(guān)系數(shù) 2、影響光電開關(guān)系數(shù)的因素 3、光電開關(guān)器件 |