MIS二極管光電開(kāi)關(guān)的伏安特性對(duì)氫氣很敏感，當(dāng)氫氣體積分?jǐn)?shù)改變時(shí)，伏安特性會(huì)發(fā)生明顯的變化，因而可利用它來(lái)檢測(cè)氫氣。C-W儲(chǔ)備大學(xué)開(kāi)發(fā)了帶有加熱器和測(cè)溫元件的MIS二極管型微結(jié)構(gòu)氫敏傳感器，為了提高靈敏度和耐久性，電極金屬用PD-AG合金。用集成電路工藝制造出加熱器、測(cè)溫元件和MIS二極管，最手用犧牲層工藝從背面將硅片選擇性地減薄。
這種測(cè)氫二極管在正偏或反偏狀態(tài)下都可測(cè)氫氣體積分?jǐn)?shù)：用恒流源正偏置MIS二極管，其正偏壓降可定量顯示氫氣的體積分?jǐn)?shù);用恒壓源反偏置MIS二極管，反向漏電流可定量顯示氫氣體積分?jǐn)?shù)。 |
當(dāng)前位置：
