国产A∨无码专区亚洲A_成人毛片在线看国产一区_免费的无码色视频在线观看_最近中文字幕高清_亚洲最新久久天堂网_欧美日韩人妻在线视频_91麻豆精品传媒人妻系列_夜激无码av毛片不卡_私人尤物极品尤物大尺度视频_精品哟哟哟国产在线不卡

　　微光電開關(guān)傳聲器在助聽、竊聽、超聲及高精度聲學測量中有獨特優(yōu)勢，而且能方便地實現(xiàn)聲傳感器陳列，有廣闊應(yīng)用前景。采用硅微加工制作微傳感器，能具有很好的重復性，既可實現(xiàn)批量生產(chǎn)，又能與IC集成形成微系統(tǒng)，使傳聲器向小型化、低成本和高性能方向發(fā)展。目前采用微機械加工制作的傳聲器可分為駐極體電容式、壓電具有頻響寬、靈敏度高、結(jié)構(gòu)簡單等優(yōu)點。

　　該會計怕器通過體硅和表面硅微機械加工工藝實現(xiàn)諸電振膜和背板一體化。首先在800度時以常壓化學氣相沉積法將150nm左右的SI3N4沉積在硅基SIO2薄膜上。再經(jīng)各向異性腐蝕工藝，從基片的背面在設(shè)計的幾何尺寸范圍內(nèi)腐蝕掉SI層，以形成振膜。

　　硅基壓電式微型傳聲器。該傳聲器是一種無氣隙損耗的單片式硅基一體化傳感器。