諧振式壓力微光電開關(guān)傳感器利用壓力變化來改變揩振器的揩振頻率，從而通過測量頻率變化來間接測量壓力，其中諧振器一微諧振酒仙橋的激勵大多采用熱激歷或靜電激勵方式。
振動的激勵方式可采用靜電激勵或電熱激勵，拾振用壓阻，整個壓力敏感無件由單晶硅壓力膜和單晶硅梁揩振器組成。二者通過硅一硅鍵合成一個整體，梁緊貼膜片，其間只留空隙，供梁振動，硅梁封裝于真空或非真空之 中，硅膜另一邊接待測壓力源，膜四周與管座剛性連接，可近似為四邊固支矩形膜，當壓力作用于壓力膜時，膜兩側(cè)存在壓差，膜感受均布壓力將發(fā)生變形，膜內(nèi)產(chǎn)生應(yīng)力，與膜緊貼的梁會感覺軸向應(yīng)力以及外加壓力三者之間有很好的線性關(guān)系，因此，通過檢測梁的固有揩振頻率，可達到檢測壓力的目的。
這種諧振梁一敏感膜片分體結(jié)構(gòu)的壓力微傳感器的制作需要用到關(guān)鍵技術(shù)包括包括雙面光刻技術(shù)，腐蝕技術(shù)生長厚約10um的富硅氮化硅技術(shù)，多孔硅犧牲層技術(shù)以及硅一硅鍵合技術(shù)，其以低應(yīng)力厚氮化硅雙端固支梁作為諧振器。 |
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