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接近開關(guān)集成化的特點(diǎn)與趨勢(shì)
 
更新時(shí)間:2014.11.13 瀏覽次數(shù):
 

  接近開關(guān)傳感器和半導(dǎo)體集成電路技術(shù)相結(jié)合,使傳感器具有集信號(hào)獲取,信號(hào)調(diào)理放大,信號(hào)轉(zhuǎn)換與處理于一體的特點(diǎn),因此,與一般傳感器相比,集成傳感器一般都具有體積小,反應(yīng)快,抗干擾能力強(qiáng),輸出標(biāo)準(zhǔn)化信號(hào)或數(shù)字信號(hào),功能強(qiáng),性能穩(wěn)定,精度高等優(yōu)點(diǎn)。

  最安,因?yàn)橐园雽?dǎo)體為基材的物性型傳感器的制作工藝與集成電路工藝兼容,因而與電路實(shí)現(xiàn)集成化的集成傳感器以物性型的屒多,近幾年來,隨著微機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展,一些適合以硅為基材,利用MEMS技術(shù)制作的微型敏感結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)的結(jié)構(gòu)型集傳感器己商用化,如三維加速計(jì),陀螺儀苡片等,這己改變了集成傳感器以物性型為主的市場(chǎng)局面,隨著集成電路技術(shù)和MEMS技術(shù)的快速 發(fā)展,集成傳感器中集成的電路和敏感無件將越來越多,集成傳感器的功能也將越來越強(qiáng)

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