石英振子式氣體接近開(kāi)關(guān)傳感器由直徑為數(shù)微米的石英振動(dòng)盤(pán)和制作在盤(pán)兩邊的電極構(gòu)成。當(dāng)振蕩信號(hào)加在器件上時(shí)，器件會(huì)在它的特征頻率發(fā)生共振。振動(dòng)盤(pán)上淀積了有機(jī)聚合物，聚合物吸附氣體后，使器件質(zhì)量增 加，從而引起石英振子的共振頻率降低，可通過(guò)測(cè)定共振頻率的變化來(lái)識(shí)別氣體。利用這個(gè)原理制成的石英振子式氣體接近開(kāi)關(guān)傳感器，對(duì)特定氣體分子的靈敏度高，選擇性好，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可在常溫下使用，補(bǔ)充了其他氣體接近開(kāi)關(guān)傳感器的不足，發(fā)展前景良好。 |
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