Ccd的信號(hào)是電荷,那么信號(hào)電荷是怎樣產(chǎn)生的呢?Ccd的信號(hào)電荷產(chǎn)生有兩種方式,光信號(hào)注入和電信號(hào)注入。Ccd用作固態(tài)圖像光電開關(guān)傳感器時(shí),接收的是光信號(hào),即光信號(hào)注入。背面光注入方法如果用透明電極也可用正面光注入方法。當(dāng)ccd器件受光照射時(shí),在柵極附近的半導(dǎo)體內(nèi)產(chǎn)生電子空穴對(duì),其多數(shù)載流子空穴被排進(jìn)入襯底,而少數(shù)載流子電子則被收集在勢(shì)阱中,形成信號(hào)電荷,并存儲(chǔ)起來。存儲(chǔ)電荷的多少正比于照射的光強(qiáng),從而可以反映圖像的明暗程度,實(shí)現(xiàn)光信號(hào)與電信號(hào)之間的轉(zhuǎn)換。
所謂電信號(hào)注入,就是ccd通過輸入結(jié)構(gòu)對(duì)信號(hào)電壓或電流進(jìn)行采樣,將信號(hào)電壓或電流轉(zhuǎn)換成信號(hào)電荷。是用輸入二級(jí)管進(jìn)行電注入,該二極管是在輸入柵襯底上擴(kuò)散形成的。當(dāng)輸入柵ig加上寬度為t的正脈沖時(shí),輸入二極管pn結(jié)的少數(shù)載流子通過輸入柵下的溝道注入電極下的勢(shì)力阱中,注入電荷量。 |