接近傳感器是廣泛使用的，如汽車在多壓力測量，如壓力測量壓力測量，和輪胎系統(tǒng)，液壓系統(tǒng)和燃油系統(tǒng)，環(huán)境控制，如加熱，通風(fēng)和空調(diào)的壓力測量，航空系統(tǒng)壓力測量和血壓測量動(dòng)脈血壓測量。這里將在傳統(tǒng)接近傳感器采用了一種新的介觀壓阻效應(yīng)的反應(yīng)原理，即在共振隧穿電壓附近，通過四個(gè)物理過程，弱機(jī)械信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的一種強(qiáng)。
基于共振隧穿膜代替?zhèn)鹘y(tǒng)的壓阻式應(yīng)變計(jì)作為敏感元件的介觀壓阻效應(yīng)，通過理論分析和仿真驗(yàn)證該結(jié)構(gòu)對傳感器的靈敏度和固有頻率的影響，從理論上證明了介觀壓阻效應(yīng)的原理可以用于高壓力傳感器的靈敏度，擴(kuò)大測量頻率范圍。
由于傳感元件和轉(zhuǎn)換元件的集成，壓力微傳感器的結(jié)構(gòu)具有體積小，固有頻率高的特性，可以測量各種頻率范圍內(nèi)的脈動(dòng)壓力。不同偏置電壓下傳感器的靈敏度�？烧{(diào)整靈敏度。的微壓力傳感器的結(jié)構(gòu)相同，如果敏感元件是硅或銅鎳合金壓敏電阻，對0.38x104v / o.17 M×104v /米。可以看出，基于共振隧穿二極管的微壓力傳感器的靈敏度比傳統(tǒng)的傳感器更靈敏的敏感性。 |
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